產(chǎn)品[
MKS電源-等離子體電源
]資料
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產(chǎn)品名稱: MKS電源-等離子體電源
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品展商:
MKS
產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹
ASTeX 遠(yuǎn)程等離子體電源適用于氧氣，氮?dú)?，氫氣，水汽等氣體，廣泛應(yīng)用于CVD，ETCH，去膠等晶圓工藝。
MKS電源-等離子體電源的詳細(xì)介紹
產(chǎn)品有以下型號：
R*evolution -AX7690 集成遠(yuǎn)程等離子體源用于精元工藝。
微波等離子體源：
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AX2600 集成等離子體系統(tǒng)
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Smart Power-AX2500系列微波電源
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ASTeX-AX3060 SmartMatch微波匹配器
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ASTeX-AX7619 下游等離子體源