產(chǎn)品[
質(zhì)譜分析儀
]資料
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產(chǎn)品名稱: 質(zhì)譜分析儀
產(chǎn)品型號(hào):
產(chǎn)品展商:
MKS
產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹
Micro Vision2 產(chǎn)品的技術(shù)是基于MKS殘余氣體分析質(zhì)譜傳感頭和氣體監(jiān)控系統(tǒng)的核心技術(shù)，利用*先進(jìn)的射頻電路模塊和數(shù)據(jù)采集電路模塊，具有**的性能，為要求*嚴(yán)格的應(yīng)用所需，雙CPU提供了高穩(wěn)定的運(yùn)行，快速和寬范圍的動(dòng)態(tài)掃描，使得工藝偏差和氣體成分改變的監(jiān)測(cè)變得很容易及**的通訊功能。靈活的輸入輸出性能，易與機(jī)臺(tái)和其他傳感器連接。質(zhì)量數(shù)范圍：1-300可選，雙檢測(cè)配置。
eVision 2 基于以太網(wǎng)的低成本的殘余氣體分析儀。利用Web瀏覽器或通過(guò)EasyView軟件方便地操作系統(tǒng)。質(zhì)量數(shù)范圍：1-200可選，雙檢測(cè)器配置可選。
質(zhì)譜分析儀的詳細(xì)介紹
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工藝監(jiān)控
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TOOLweb 工藝和工藝腔環(huán)境監(jiān)測(cè)
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Vision 2000-B 真空本底殘余氣體分析儀
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Vision 2000-C 化學(xué)氣相沉積（CVD）工藝殘余氣體分析儀
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Vision 2000-E 刻蝕（Etch）工藝殘余氣體分析儀
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Vision 2000-P 物**相沉積（PVD）工藝殘余氣體分析儀
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200-300mm Resist-Torr 光刻膠檢測(cè)器
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HPQ3 高壓殘余氣體分析儀， 主要用于PVD工藝氣體檢測(cè)
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大氣壓氣體分析儀
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Cirrus 2 四極質(zhì)譜儀 工作在大氣壓力下的桌上型四極質(zhì)譜儀，可用于在線測(cè)量和分析氣體以及其體組成。