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氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用于真空滲碳爐檢漏方法
一、應(yīng)用于真空滲碳爐檢漏原因
真空滲碳爐 (Vacuum Cementite Furnace) 使用神港精機(jī)（shinko seiki）羅茨泵機(jī)組(SR-75BⅡ+ SMB-C15) 抽真空，要求真空度需要到達(dá) 1x10-3 mbar 左右真空環(huán)境下才能有效工作，
由于滲碳處理需要溫度大約900℃ 下進(jìn)行，如果密封不好的話工件很容易氧化，造成整爐的工件保費(fèi)，損失巨大。所以真空滲碳爐的密封性非常重要，檢漏非常關(guān)鍵。
二、應(yīng)用于真空滲碳爐檢漏方法
Pfeiffer HLT560 氦質(zhì)譜檢漏儀 提供兩種檢漏模式, 真空模式 (vacuum mode) 及正壓模式 (sniffer mode)，真空滲碳爐多采用檢漏儀的負(fù)壓模式既真空模式檢漏，將 氦質(zhì)譜檢漏儀 與真空系統(tǒng)連接，*好連接在排氣口附近（也就是真空泵組的進(jìn)氣口處），真空系統(tǒng)都會(huì)有泵組在抽真空，所以在泵的進(jìn)氣口處連接氦質(zhì)譜檢漏儀是在氣流的流向上，很容易有一部分分壓分給 氦質(zhì)譜檢漏儀 ，從而達(dá)到檢漏的效果。
Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀 連接在機(jī)械泵組的進(jìn)氣口處，首先啟動(dòng)泵組，對(duì)滲碳爐抽真空，同時(shí)啟動(dòng) 氦質(zhì)譜檢漏儀 ，此時(shí)質(zhì)譜檢漏儀上面的 Pfeiffer EVB 025 角閥一定處于關(guān)閉狀態(tài)，當(dāng)泵組抽真空到達(dá)一定真空度（*高背壓為 25 mbar業(yè)界*高）時(shí)，可以進(jìn)行檢漏操作。
檢漏工作準(zhǔn)備就緒，泵組抽真空到達(dá)一定真空度后，氦質(zhì)譜檢漏儀為待機(jī)狀態(tài)，EVB 025 角閥處于關(guān)閉狀態(tài)，此時(shí)可以按下檢漏儀啟動(dòng)鍵，氦質(zhì)譜檢漏儀開始測(cè)漏，然后慢慢開啟角閥，觀察漏率值的變化，由于檢漏儀和真空滲碳爐的腔體聯(lián)通，有真空度的變化，所以漏率值也會(huì)產(chǎn)生變化，等到漏率值平穩(wěn)，再將角閥慢慢開到*大，等待數(shù)值穩(wěn)定，可以噴氦氣進(jìn)行檢漏。
當(dāng)噴氦氣后 氦質(zhì)譜檢漏儀 顯示漏率值超過(guò)設(shè)定值，并且有明顯的報(bào)警聲音，表明此處有漏點(diǎn)，然后在漏電處做標(biāo)記，在進(jìn)行其他部位的檢漏。
當(dāng)檢測(cè)中找到漏電后，由于有氦氣進(jìn)入真空系統(tǒng)，所以漏率值會(huì)緩慢上升，為了更快速檢測(cè)下一個(gè)漏電，可以按下顯示屏左下方的 ZERO 鍵，對(duì)檢漏儀進(jìn)行本底清零，隨即可以查找下一個(gè)漏點(diǎn)，達(dá)到節(jié)省時(shí)間的效果。
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